1、氣動、液動執行機構
a、膜片 對薄膜式氣動執行機構來說，膜片是重要的元件，在氣源系統正常的情況下，如果執行機構不動作，就應該想到膜片是否破裂、是否沒安裝好。當金屬接觸面的表 面有尖角、毛刺等缺陷時就會把膜片扎破，而膜片不能有泄漏。另外，膜片使用時間過長，材料老化也會影響使用。
b、活塞 氣動、液動執行機構的活塞產生驅動力，因此活塞的損壞、磨損是不允許的。
c、氣（液）管 這是輸入壓力通向執行機構的通路，因此要經常檢查是否接牢，不漏氣。
d、推桿 要檢查推桿有無彎曲、變形、脫落。推桿與閥桿連接要牢固，位置要調整好，這樣才能確保足夠的行程并關閉閥門。
e、彈簧 要檢查彈簧有無斷裂。制造、加工、熱處理不當都會使彈簧斷裂。有些彈簧在過大的載荷作用下，也可能斷裂。
2、電動執行機構
a、電機 檢查電機是否能轉動，是否容易過熱，是否有足夠的力矩和耦合力。
b、伺服放大器 檢查是否有輸出，是否能調整。
c、減速機構 各廠家的減速機構各不相同。因此要檢查其傳動零件—軸、齒輪、蝸輪等是否損壞，是否磨損過大。
d、力矩控制器 根據具體結構檢查其失靈原因。